Мишени для распыления титана высокой чистоты

Мишени для распыления титана высокой чистоты

1. Основная инновация: новое определение чистоты и производительности​

• Название продукта: Титановые мишени для распыления сверх-высокой-чистоты (классы Gr1–Gr12).
• Эталон чистоты:
• Содержание титана: Больше или равно 99,95 % (ASTM B348).
• Контроль примесей: <0.02% (O, N, C ≤0.005%; Fe ≤0.01%)
• Плотность: 4,51 г/см³ (±0,02)
• Почему это важно:
• Честность фильма: Sub-ppm impurity levels eliminate voids and inclusions, ensuring uniform film thickness (±2%) and adhesion strength (peel test >50 МПа).
• Зернистая структура: равноосные зерна размером 50–100 мкм (подтверждено СЭМ-) уменьшают образование дуги и повышают стабильность скорости распыления на 30 %.
• Техническое преимущество:
• Вакуумная индукционная плавка: Сырье чистотой 99,999%, расплавленное под вакуумом 10⁻³ Па.
• Горячее изостатическое прессование (ГИП): Обработка 1200 градусов/200 МПа для закрытия пор.<5 μm.
• Прецизионная обработка с ЧПУ: Допуски ±0,05 мм для критических размеров (например, толщины мишени).

2. Решения,-специфичные для конкретных приложений​

2.1 Производство полупроводников​

Вафельное покрытие: Цели Gr1 (99,5% Ti) для диэлектрических слоев затвора (интерфейсы оксид/нитрид).

Тематическое исследование: Снижение загрязнения частицами на 80% при напылении пластин диаметром 300 мм.

2.2 Оптические покрытия​

Анти-противотражающие пленки: Мишени Gr5 (Ti-6Al-4V) для УФ/ИК-оптики (регулирование показателя преломления: n=2.2–2,6).

УФ-линзы C: Обеспечивает пропускание 99,8% в диапазоне 200–400 нм.

2.3 Хранение энергии​

Твердотельные-батареи: Мишени Gr7 (Ti-0,2Pd) для границ раздела твердый электролит (ионная проводимость: 10⁻³ См/см).

2.4 Передовая электроника​

Гибкие схемы: Цели Gr12 (Ti-0,3Mo-0,8Ni) для растягиваемых проводящих линий (допуск на деформацию: 300%).

3. Гарантия качества и соответствие требованиям​

Сертификаты:

• ИСО 9001: Полная прослеживаемость от сырья до готовой продукции.
• АСТМ Б381: Устойчивость к водородному охрупчиванию<200 kPa.
• RoHS/REACH: <100 ppm restricted substances.

Протоколы тестирования:

горячая этикетка : Мишени для распыления титана высокой чистоты, Китай, производители, поставщики, фабрика, индивидуальные, низкая цена, в наличии, сделано в Китае, Анализ спроса на материал титана, Титановый материал недостаток, Титановая материальная отрасль, нехватка титана, Титановая микроструктура, Сила титана